Shenyang Starlight Advanced Ceramics consegna con successo barche a tre montanti in carburo di silicio da 8 pollici per la lavorazione di wafer semiconduttori

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., produttore leader di prodotti in carburo di silicio con oltre 30 anni di esperienza nel settore, ha recentemente raggiunto un traguardo importante sviluppando e fornendo con successo barche a tre montanti in carburo di silicio da 8 pollici specializzate per applicazioni di trattamento termico di wafer semiconduttori.

Svolta nella tecnologia di lavorazione dei wafer

Il nuovo 8 pollici sviluppatocarburo di silicioLe imbarcazioni a tre montanti rappresentano un importante progresso nella tecnologia di movimentazione dei wafer, specificamente progettate per:

• Lavorazione ad alta temperatura di wafer semiconduttori da 200 mm

• Distribuzione termica uniforme durante le fasi critiche di fabbricazione

• Riduzione dei rischi di contaminazione negli ambienti delle camere bianche

Superiorità tecnica

Queste imbarcazioni di precisione sono dotate di:

• Purezza ultra elevatacarburo di siliciomateriale (purezza 99,99%)

• Design ottimizzato a tre montanti per un contatto minimo con il wafer

• Eccezionale resistenza agli shock termici (resistono a rapidi sbalzi di temperatura fino a 1.400°C)

• Inerzia chimica superiore contro i gas di processo corrosivi

Soddisfare le richieste del settore

"Il nostro 8 pollicicarburo di silicioLe barche a tre montanti rispondono alla crescente esigenza del settore dei semiconduttori di supporti per wafer affidabili e ad alte prestazioni, ha affermato il dott. Li, direttore tecnico. Offrono vantaggi significativi rispetto ai supporti al quarzo tradizionali, tra cui una maggiore durata e una migliore stabilità termica.

Rigoroso processo di sviluppo

Lo sviluppo del prodotto ha comportato:

• 18 mesi di intensa ricerca e sviluppo

• Collaborazione con i principali produttori di semiconduttori

• Oltre 200 test di ciclo termico

• Rigorose misure di controllo della contaminazione da particelle

Garanzia di qualità

Ogni unità viene sottoposta a:

• Verifica della precisione dimensionale (tolleranza ±0,02 mm)

• Test di rugosità superficiale (Ra < 0,2μm)

• Ispezione visiva completa

• Pulizia finale e imballaggio in camera bianca di classe 100

Applicazioni

Attualmente le imbarcazioni vengono utilizzate per:

• Processi di diffusione

• Trattamenti di ricottura

• Processi di ossidazione

• Applicazioni CVD

Sviluppi futuri

Forte di questo successo, Shenyang Starlight sta ora sviluppando:

• Versione da 12 pollici per le dimensioni dei wafer di nuova generazione

• Progetti personalizzati per requisiti di processo specifici

• Rivestimenti avanzati per applicazioni specializzate

Impegno aziendale

"In qualità di azienda con tre decenni di esperienza nella ceramica, restiamo impegnati a superare i confini della tecnologia dei materiali semiconduttori, ha aggiunto il dott. Li. "Questo lancio di prodotto dimostra la nostra capacità di sviluppare soluzioni che soddisfano i requisiti più esigenti del settore.