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Piastre in carburo di silicio legate con nitruro refrattario Tubo Sic legato al nitruro Tubo in carburo di silicio ricristallizzato Polvere fine di SiC Ugelli del bruciatore RBSiC Trasportatori di wafer in carburo di silicio Sagger in carburo di silicio ricristallizzato Tubo in carburo di silicio legato tramite reazione Travi in SiC siliconizzate Rulli in carburo di silicio legato al nitruro