Shenyang Starlight Advanced Ceramics raggiunge un traguardo nella produzione di semiconduttori con tubi di rivestimento di precisione da 451 mm di diametro esterno per l'elaborazione di wafer da 12 pollici

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., azienda pioniera nella produzione di carburo di silicio con oltre trent'anni di esperienza, ha recentemente raggiunto un traguardo significativo fornendo con successo tubi di rivestimento specializzati con diametro esterno (OD) di 451 mm per i processi di fabbricazione di wafer semiconduttori da 12 pollici. Questo risultato sottolinea la leadership dell'azienda nello sviluppo di componenti ceramici critici per l'industria globale dei semiconduttori. I tubi di rivestimento di nuova concezione, progettati specificamente per applicazioni di lavorazione di wafer ad alta temperatura, presentano un diametro esterno della flangia ottimizzato di 451 mm, progettato per soddisfare i rigorosi requisiti delle apparecchiature avanzate per la produzione di semiconduttori. Utilizzando carburo di silicio ad altissima purezza (≥99,999%) con un'eccezionale stabilità termica (intervallo operativo: da temperatura ambiente a 1.450 °C), questitubi di rivestimento I componenti garantiscono una dilatazione termica minima (coefficiente di 4,0×10⁻⁶/K) e una resistenza superiore ai gas di processo corrosivi, consentendo prestazioni costanti nei processi di ossidazione, diffusione e deposizione chimica da vapore (CVD). La progettazione di precisione dei tubi di rivestimento garantisce tolleranze dimensionali entro ±0,05 mm e una rugosità superficiale inferiore a Ra 0,1 μm, fondamentali per mantenere l'integrità del wafer e ridurre il rischio di contaminazione da particelle negli ambienti di camera bianca.

IL tubi di rivestimentoIl processo di sviluppo ha richiesto 18 mesi di rigorosa collaborazione in ambito R&S con i principali produttori di semiconduttori, incorporando l'analisi avanzata agli elementi finiti (FEA) per ottimizzare la dinamica del flusso di gas e l'uniformità termica lungo il diametro interno di 300 mm. Oltre 500 test di cicli termici hanno convalidatotubi di rivestimento' durata in caso di rapide fluttuazioni di temperatura, mentre le tecniche di sinterizzazione proprietarie garantivanotubi di rivestimento Integrità strutturale a temperature estreme. La produzione avviene in camere bianche ISO Classe 5, con ogni unità sottoposta a controlli completi tubi di rivestimentoControlli di qualità, tra cui test di tenuta all'elio, analisi dei gas residui (RGA) e validazione metrologica mediante scanner laser e macchine di misura a coordinate (CMM). I primi utilizzatori nella produzione di chip logici e di memoria avanzati hanno segnalato una riduzione del 35% dei tempi di fermo dei forni e un miglioramento del 20% della resa dei wafer rispetto ai tradizionali rivestimenti in quarzo, attribuibili all'inerzia chimica intrinseca del materiale e alla riduzione dei requisiti di manutenzione.

Questo tubi di rivestimentoL'innovazione risponde alla crescente domanda del settore dei semiconduttori di wafer di dimensioni maggiori e di una maggiore coerenza di processo, in particolare con la transizione dei produttori a nodi sub-5 nm. Il design del diametro esterno di 451 mm consente una perfetta integrazione con i forni verticali di nuova generazione, mentre i bassissimi livelli di impurità metalliche del materiale (<0,1 ppb) prevengono la contaminazione da droganti nei processi sensibili. Oltre alle applicazioni attuali, Shenyang Starlight sta attivamente sviluppando soluzioni intelligenti.tubi di rivestimentoprototipi con sensori integrati per il monitoraggio della temperatura in tempo reale e sistemi di gestione termica adattiva compatibili con gli ecosistemi di produzione dell'Industria 4.0.

Con un'esperienza trentennale e oltre 2.000 partnership di successo con i clienti, Shenyang Starlight continua a guidare l'innovazione nella ceramica ad alte prestazioni, combinando l'eccellenza nella scienza dei materiali con l'ingegneria di precisione per risolvere le sfide più complesse del settore dei semiconduttori.